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半导体加工废水处理案例|半导体加工废水处理方法

投资项目历史背景 该半导体设备芯片品牌座落在长半圆省份,基本生產8寸大和12寸大晶圆,日污染物废容量约2000吨。致使半导体设备芯片生產的工艺非常复杂,污废水处置方法 化学成分复杂化且包含有三种难化学降解材质,品牌原本治理建筑设施不了做到逐步严格要求的健康污染物规则,故项目投资5000万元兴建专门污废水处置方法 治理站。 工业废水含量及原因 该公司企业废水处理工艺基本有几类: 含氟污废水 :种类于晶圆蚀刻、洗掉步骤,氟阴离子氧化还原电位高达模型2000mg/L; 巧妙电镀废水:位于光刻、定影等生产技术,包含的异丙醇、二甲苯等巧妙溶液,COD值在5000mg/L以内; 耐酸碱生产废水:产生于的洗涤和外表面清理的环节,pH值上下波动大; 含铜废水处理工艺:原于电镀工艺和金属件化工品艺,铜铝离子浓度值约150mg/L。 加工处理鑫霖环保标准流程 真对各种不同概念的焦化废水,应用"类型获得+分质整理+下端高度整理"的整合方法: 含氟污废水 外理线: 两极物理化学石雕文化发展:先添加氯化钙调高pH至6-7,加上入PAC和PAM水解酸化池石雕文化发展; 灵活性硫化铝过滤:为了保证氟阳离子有机废气浓度下降8mg/L下。 无机废水办理工艺办理线: 微电解法想法:铁碳鲍尔环填料床预补救增强废液可生物化性; UASB厌氧发酵症状器:HRT=24h,COD清掉率65%; MBR膜菌物想法器:用于PVDF中空中氯纶膜,留水COD<50mg/L。 腐蚀性生活污水与设计: 重新pH缓解:实现线监控仪控制加酸加碱量; 二沉池沉积:删去中合导致的浮悬物。 含铜生活污水治理 : 无机化学积淀:添加NaOH调低pH至9-10,构成氢脱色铜积淀; 亚铁亚铁离子传递:为了确保铜亚铁亚铁离子密度<0.3mg/L。 深度1进行处理机组: 臭氧老化催化反应空气氧化:进的一步转换难转换有机的物; 灵家用活性炭吸附:避开浑浊度和氢化物发生器被有害物质; 紫外光线空气消毒:确保安全生产出液微海洋生物质量指标达到。 从而治疗效果 投资项目正常程序运行后,出液土质稳固以达到《微电子化工业水的废水排出标淮》(GB 39731-2020)特意排出限制值条件,但其中氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜<0.3mg/L。第一年可下降氟化物排出约120吨,COD排出约400吨,回收分类处理水资源保护性约五十万吨。程序自动操作化地步高,正常程序运行投资成本操作在8.5元/吨水身边。

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