该晶圆制作业厂地处豫东地区划分,主要产量销售89英寸光电器件晶圆,单日污废水 排出口量约800吨。考虑到产量销售的时候中施用大量的盐酸参与晶圆蚀刻,导至污废水 中氟化物密度可高达200-300mg/L,远超的国家排出口基准(10mg/L左右)。
废气组成及起源
电镀废水具体存在3个的环节:
晶圆蚀刻步骤
:含高有机废气浓度氟化物(HF)、硝酸银及一定量天价属
化学反应机诫打磨抛光(CMP)污水
:含nm级硅颗粒物、生物碳络合剂
设施擦拭废水处理
:含异丙醇、挥发酚等充分物
办理制作工艺步奏
主要包括"催化悠长岁月中+混疑悠长岁月中+程度净化"三级视频除理软件:
4级正确处理
:加药系统氯化钙和氢空气氧化钙,生成氟化钙积淀,氟化物消除率达85%
五级正确处理
:加上PAC(整合氯化铝)和PAM(聚乙烯塑料酰胺),的还原固体态环境破坏物
三级视频加工处理
:使用多媒介脱水器和亲水性炭过滤,出液氟化物氨水浓度保持稳定在8mg/L接下来
重要的机还包括:pH自功调低操作系统、斜管沉淀自己池、板框压滤设备(工业废水脱水处理)。
终究视觉效果
业务启动五年监测方案数剧表现:
氟化物差不多浓度值:7.2mg/L(小于国家细则)
COD彻底清除率:92%
污泥处理含水分率:≤65%
年回收处理氟化钙加工品的约150吨,推动资源的化进行