半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
项目流程历史背景
该中小型机构为亚洲省市技术型的半导体器件公测中小型机构,属于珠半圆省市,主要是采取高档次心片的片区和二极管封装软件测试。随着本地人坏保需要按照严格,中小型机构考虑进行污废水 零进行排放工程建设。品牌于22年加载,202四年6月俊工投建,除理企业规模为200吨/日,总投资加盟约2000上万元。
生活污水有效成分及种类
某项目的性划区废水处理包括这基本特征:
高质量含量氟化物,重要发源晶圆切开后的擦洗工艺,氟铁离子质量含量达到了150-200mg/L
有效纳米技术级硅粉颗粒物,颗粒直径多在100-500nm期间
有机会负载较高,COD在500-800mg/L
有轻微血本属如铅、镉等
电阻率高,基本上在2000-3000μS/cm
处置加工生产工艺流程图
为构建0排放出方向,新工艺设置主要遵循废污水区分采集而来和物资回收并:
废液等级分类处理体系
:将含氟焦化废气与许多焦化废气分开用采集而来
化学上的悠长岁月中除氟
:选用二级钙盐沉积法,加上更高效沉积池
高級钝化除理
:二腐蚀碳崔化腐蚀吸附难进行处理生物碳物
膜沉淀系统化
:运用DTRO碟管式反构建,浓缩提炼4的倍数为10倍
汽化晶粒
:MVR机械厂蒸汽加热再减小减压蒸馏器治疗浓水
低温干燥机系统
:将晶粒盐干躁后身为行业副设备外售
加工效用
控制系统操作统计数据显现:
氟化物删去率>99.9%,溢水氟亚铁离子<1mg/L
COD总去掉率>98%,水流COD<20mg/L
水环境资源环保再生资源回成品率>95%,仅产生了多量晶体盐
年均可再利用高高质量中水回用水约5万吨
结晶体盐含量达到了重工业级规则,实现了产品化利于
投资项目往往确保了电镀废水0排放口,还能够产品收集创作了约80百万元/年的格外价值。